ドライポンプ

ドライポンプは接ガス部にオイルを用いない真空ポンプである。内部の機構全てがオイルフリーなわけではない。半導体製造など、油汚染を嫌う場合に多く使われる。

真空ポンプの分類として、ウエットポンプに対比する用語。

ドライポンプの種類　

• ルーツ型ドライポンプ
• クロー型ドライポンプ
• スクリュー型ドライポンプ
• サイドチャンネル型ドライポンプ
• スクロール型ドライポンプ
• ベーン型ドライポンプ
• ドライロータリーベーンポンプ

関連項目

• 真空
• 真空計

ドライポンプメーカー

• 日本ブッシュ
• アルバック
• 樫山工業
• 荏原製作所等